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              氣路管道國標要求

              2020-12-03
              氣路管道國標要求-特氣管道系統的不銹鋼選材 對于特種工藝氣體而言,由于在芯片生產中需要與芯片接觸并參與反應,因此需選用經電解拋光(Electro-Polish)處理的316L不銹鋼管,即SS316L EP管,其耐腐蝕性好,表面粗糙度低,Ramax(最大表面粗糙度)<0.7微米。光滑的表面使顆粒無從吸附滯留,從而保證氣體的純度。 對普通氮氣而言,由于其并不作為制程中的反應氣體,可以選用經光輝燒結(Bright Anneal)處理的316L不銹鋼管,即SS316L BA管,也可以采用經化學清洗(Chemical Clean)處理的316L不銹鋼管,即SS316L CC管。其Ramax為3-6微米。
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