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              高純氣體氣瓶架-高純氣體處理設備

                高純氣體氣瓶架(GR)

                GR(Gas Rack)是為了滿足微電子半導體生產、科研要求而設計的氣體輸送中轉系統。GR一般由架子、閥門盤面、管件、控制器等集中在一起組成。

                GR多用于普通氣體或惰性氣體的供應,是氣源部分。

                蓋斯帕克高純氣瓶架GR包括:

                1、根據客戶情況的特殊設計,以下安全裝備可能將集成于GR

               ?、貵R有帶按鍵操作的控制柜體,放置于架體上部

               ?、诳梢孕孤秱蓽y。

               ?、叟c系統抽風排空系統連接。

               ?、茏源祾呦到y。

               ?、輭毫蓽y。

                2、安裝環境:

               ?、僖话阍诙栊詺怏w氣瓶架,方便人員操作,懸掛于墻面。

               ?、诳刂乒窆耖T開關自如,不得扭曲變形,關閉不嚴。

               ?、郾仨氂蓪I的安裝人員進行安裝。

                3、系統構造:GR是由氣瓶架和供氣面板組成

               ?、俟耋w的組成:

                不銹鋼烤漆耐腐蝕架體

               ?、贕as Manifold 氣體面板(根據實際需求可能有增減):

              RBGL CV3F1-R
              HPDVSPGRF1-L
              HPCVSPGLF2-L
              PGIRVPGVG
              CV2DPGLEFS

                蓋斯帕克的設計目標是要開發一條可以符合客戶性能,純度,易用度,易維護度以及系統集成度需求的最優級產品線。初看GR就可以發現許多已經實現了的設計目標。GR設計簡潔,每樣東西都能很方便的找到和操作。許多部件都組織在一起,以方便維護。無需開門,就可以看見和操作面板。蓋斯帕克所實現的,就是一個易于理解、易于使用、并且易于維護。


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