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              全自動特氣柜-特氣處理設備

                全自動特氣柜(GC)

                半導體、芯片、新材料以及科研院等生產車間或實驗室經常會使用到電子氣體,這些電子氣體通常分為兩類,一類為普通電子氣體(普氣),另一類為特種電子氣體(特氣),普氣大多為惰性氣體,較為穩定無危害性或危害性較小。特種氣體分為腐蝕性氣體和易燃易爆氣體,其穩定性較差,危害性大。特氣因其特殊性質所以對裝載與輸送的材質要求較高。

                全自動特氣柜(GC)是高技術與高材質的結合,適用于危害性大的特氣系統。蓋斯帕克Hisptech氣柜裝載并且輸送高純度有毒或易燃易爆氣體。是最優級產品線的一部分,它包括柜體、分氣箱或分氣盤。它同樣可以與更大型系統的使用點進行連接。

              全自動特氣柜

                GC具備的組成及功能

                1、自動切換供氣配置;

                2、全自動觸摸屏操作(帶外吹掃、抽真空,自動緊急遠程切斷、事故報警,高壓保壓鋼瓶接頭測漏, 泄漏報警對接,通風出口等);

                3、符合國際安全規范的帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關閉門、抽風外殼;

                4、單工藝出口;

                5、配置前端0.1μ過濾器,后端0.001μ終端過濾器;

                6、高壓測漏測試;

                7、帶自清潔功能;

                8、帶欠壓報警功能;

                9、防爆外柜,烤漆或不銹鋼外殼包覆;

                10、視窗為夾層不銹鋼網防爆玻璃;

                11、排風口及閥門;

                12、常開/常閉標示掛牌;

                13、防爆電控箱;

                14、配置 UV/IR,噴淋頭,高溫,煙感應;

                蓋斯帕克Hisptech型全自動特氣柜(GC)大量研究,組件測試,概念發展以及客戶的意見都參與到氣體輸送產品的氣柜設計開發之中。


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